2石英力敏谐振器制作
　　石英力敏谐振器是由2个外侧的支撑梁和2个内侧谐振梁构成，电极分布在谐振梁上，且分布在谐振梁的上下表面与侧面，支撑梁上没有电极。利用铜镀层掩蔽，采用各向异性腐蚀液对石英晶体进行刻蚀。采用旋转蒸发方式蒸电极层，侧面电极通过增加特制侧面光源进行光刻，这样，就解决了侧电极制作难题。完成光刻的谐振器需要进行温度循环处理，减少残余应力。力敏谐振器的工艺流程如图4所示。

　　通过上述过程制出梁的宽度为190μm，2根梁的间距为160μm，梁的长度为4.96 mm的力敏谐振器，其量程为0～150 gf，中心频率为(40±4)kHz，精度为0.05％，满量程输出为(1.2±0.24)kHz。