4标定测试

　　在室温条件下，对传感器施加10 V直流电压，进行静态标定，表1给出了1#传感器的典型标定数据，表2给出了2#传感器静态标定数据。

　　从表1和表2中可以看出：传感器的满量程输出分别为1.1461kHz和1.1599kHz，用每个测量点的正反行程平均值作为标准值计算，传感器精度优于0.05％。

　　5结束语

　　在谐振式石英晶体绝对压力传感器研制中，采用石英晶体材料制作弹性膜片，解决了该传感器结构复杂，制作工艺难度大等技术难题。研制出的传感器具有结构简单、精度高、体积小等，其量程为0～120kPa，中心频率为(40+4)kHz，精度为0.05％，适用于高精度绝对压力测量要求。